[단독] 텍사스 한파에 NXP '반도체 클린룸' 손상

↑ 삼성전자 클린룸 시설 전경 <삼성전자 제공>

최근 공장 복구·가동을 재개한 미국 텍사스주 삼성전자 반도체 공장의 물적 피해 여부가 아직 공개되지 않은 가운데 인근 NXP 반도체 공장이 이상 한파로 인해 핵심 공정이 손상된 것으로 확인됐다. 네덜란드 반도체 기업인 NXP는 지난 2월 텍사스주 이상한파·전력부족 사태로 인해 삼성전자와 같은 날 공장 셧다운 조치가 이뤄졌다.
6일 매일경제가 NXP 공식 홈페이지를 확인한 결과 스티브 프레즌 NXP 수석부사장은 최근 오스틴 반도체 공장의 복구 과정과 공정 손상 정도를 상세하게 설명하는 대주주 보고서 성격의 글을 게재했다.
주주와 지역사회의 관심이 큰 이번 사건에 대해 피해 규모를 소상히 밝히고 복구 과정에서 지역사회에 안전 상 위험을 야기하지 않았음을 공개한 것이다.
프레즌 수석부사장은 먼저 지난 2월 들이닥친 북극발 이상 한파로 텍사스주가 자사와 삼성전자 등 반도체 공장들을 셧다운 시킨 뒤 한 달 넘게 진행된 복구 과정에 대해 "지난 30여년 간 반도체 분야에서 일했지만 지난 수 개월은 한 번도 경험하지 못한 상황이었다"고 소회를 전했다.

↑ 이상 한파로 인해 강철 파이프라인마저 금이 간 NXP 오스틴 반도체 공장 현장 사진 <제공=NXP>

이어 텍사스주가 사전에 셧다운 조치를 통보해 최종 셧다운까지 이틀의 준비 기간이 존재했음에도 실제 복구 과정에서 반도체 공장의 심장부인 '클린룸' 시설이 예상을 뛰어넘어 훼손됐음을 공개했다.
클린룸은 공기 속에 존재하는 불순물뿐만 아니라 온도, 습도, 공기압 등이 엄격히 제어된 시설을 뜻한다. 머리카락의 수 천분의 1에 해당하는 초미세 공정을 다뤄야 하는 만큼 아주 작은 먼지 하나가 제품의 품질에 영향을 줄 수 있어 반도체 제조사들의 클린룸 수준은 곧 안정적 품질 문제와 직결된다.
프레즌 부사장은 구체적으로 "이상 한파로 인해 쇳덩어리로 만들어진 역류방지 파이프라인이 균열되고 구리 코일도 못 쓰게 돼 모두 폐기했다"라며 "외부 공조장치도 함께 손상돼 350t의 크레인을 동원해 손상된 공조장치를 잘라내고 새 것으로 교체해야 했다"고 밝혔다.

↑ 이상 한파로 인해 손상돼 아예 못쓰게 된 NXP 오스틴 공장의 구리 코일 장비들. NXP는 수석부사장 공개글을 통해 자사 피해 상황을 주주와 지역사회에 상세하게 공개하고 있다. <제공=NXP>

그는 "NXP의 클린룸은 머리카락 1000분의 1 입자 수준까지 공정 시스템을 체크해야 하는 곳"이라며 "지난 30여년 간 배운 반도체 지식과 경험보다 지난 수 개월 간 배운 게 더 많을 정도"라고 전했다.
아울러 초기 복구 과정에서 가장 염려했던 문제가 대량의 화학물과 가스 등을 안전한 상태로 유지하는 것이었다며 "안전에는 지름길이 없다"고 강조했다.
NXP 공장의 두 배 규모에 미세 공정 수준이 더 높은 삼성전자 오스틴 공장의 경우 머리카락 1만분의 1 입자 수준으로 클린룸을 관리해야 한다.
NXP와 비슷한 시점인 지난달 말 공장 재개를 시작한 삼성전자가 과연 오스틴공장 클린룸 시설에 어떤 피해가 야기됐는지 상세 정보를 제시할지 여부가 주목되고 있다.
한편 프레즌 NXP 부사장은 이번 복구 작업 전반을 USB 저장장치 사용법으로 비유해 눈길을 끌었다.
그는 " 우리가 컴퓨터에서 USB 장치를 강제로 빼낼 경우 '안전하게 제거되지 않았다'는 경고가 뜨고 자칫 파일이 손상될 수도 있다"라며 "이보다 훨씬 더 큰 규모로 수 천개의 장비와 수 만개의 공정 웨이퍼가 들어간 팹 시설을 완전히 폐쇄하고 몇 주 후에 다시 재개하는 일이 얼마나 힘든 일인지 상상을 해보시라"고 설명했다. .
[이재철 기자]