에스앤에스텍이 반도체 극자외선(EUV) 노광공정 팰리클 기대감에 강세다.
16일 오전 9시 40분 현재 에스앤에스텍은 전일 대비 580원(7.00%) 오른 8860원에 거래되고 있다.
관련 업계에 따르면 파운드리 사업에서는 EUV를 활용해 노광공정을 진행하고 이를 통해 미세한 회로 폭을 가진 시스템 반도체를 생산하는 게 추세다. 삼성전자 역시 EUV 노광공정을 바탕으로 파운드리 부문 1위에 올라서겠다는 계획을 세운 바 있다.
반도체 노광공정은 패턴이 그려진 마스크에 투과시킨 빛을 다시 모아 반도체 웨이퍼 위에 반복해 찍어내는 작업이다. 마스크에 그려진 회로가 축소돼 웨이퍼에 찍히기 때문에 마스크가 오염되면 불량률이 많이 늘어난다. 펠리클(pellicle)은 마스크 위에 씌워지는 얇은 박막으로 보호막 역할을 한다. 노광 작업
반도체 블랭크 마스크업체 에스앤에스텍은 미래 수익 사업으로 아직 세계적으로 상용화되지 않은 EUV용 펠리클 개발에 박차를 가해 EUV 펠리클 시장을 선점하겠다는 계획을 갖고 있다.
[디지털뉴스국 김경택 기자]
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