`소부장` 국산화 위해 12인치 테스트베드 만든다

나노종합기술원(원장 이조원)이 반도체 소재·부품·장비(이하 소부장) 국산화를 촉진하고자 중소·중견기업 제품 성능을 자체 검증하는 '12인치 테스트 베드'를 구축한다.
31일 나노종합기술원은 서울 종로구에서 기자회견을 열어 "오는 2021년 상반기까지를 목표로 실제 환경과 유사한 12인치 반도체 테스트베드 구축과 성능 평가 지원에 들어간다"면서 "기존 8인치 기반 검증 서비스와 연계할 수 있는 12인치 대상 장비 구축으로 실효성 있는 시너지 효과를 창출하겠다"고 밝혔다.
이는 일본 아베 정부가 지난 8월 한국을 화이트리스트(수출간소화 우대국) 지위를 박탈하면서 국내 소부장 산업에 대한 국산화 필요성이 제기된 데 따른 것이다. 지난달 11일 최기영 과학기술정보통신부 장관은 중소기업 현장 간담회에서 "테스트베드는 소재·부품 공급 중소기업과 수요 대기업 간의 상생협력을 위한 플랫폼이 돼야 한다"고 밝힌 바 있다.
현재 소부장 중심인 반도체 후방산업은 핵심 소재 국산화율50이, 장비 국산화율이 20%(2017년 기준)로 저조한 실정이다. 중소·중견기업이 개발한 제품이 검증 시설 부재로 수요 기업들을 찾기 어려운 구조인 것이다. 이조원 나노종합기술원 원장은 "12인치 테스트베드를 구축하면 중소기업의 제품개발부터 대기업의 최종 구매에 이르기까지 막힘 없이 연계돼 상호연계 생태계가 조성될 수 있다"고 설명했다.
이를 위해 나노종합기술원은 300평 규모 청정실과 12인치 실리콘 반도체 전용장비 10여대부터 우선적으로 설치한다. 20나노미터(nm) 패터닝 공정 기술 등 단위·모듈, 특화공정기술 또한 확립할 계획이다. 하지만 제품 검증을 위한 핵심 장비인 ArF Immersion Scanner는 신규 장비가 1000억원에 달해, 대기업 유후장비 충당으로 대체하게 됐다. 나노종합기술원이 보유한 사업 예산 385억원으로는 확보가 어렵기 때문이다. 총 사업비는 450억원이며, 연 운영비는 13~15억원 정도로 추정된다.
[김시균 기자]