세메스, 산업기술상 `IR52 장영실상` 수상

반도체·디스플레이 제조장비 업체인 세메스가 국내 최고 산업기술상인 IR52 장영실상을 수상했다고 21일 밝혔다.
과학기술정보통신부가 주최하고 산업기술진흥협회와 매일경제가 주관하는 이번 시상에서 세메스는 반도체 세정설비인 로터스(LOTUS)를 출품했다. 로터스는 반도체 클린공정에서 웨이퍼 표면의 박막물질이나 불순물을 제거하기 위해 화학적 식각·박리 후 세정하는 설비다.
로터스는 세계 최초로 18nm 미세공정 설비로 개발됐으며 기존 제품보다 파티클 제거 능력이 향상됐고, 시간당 웨이퍼 처리속도 및 용량을 500장 이상으로 대폭 늘렸다.
김용식 세메스 대표는 "세계시장 점유율 1위를 목표로 개발된 로터스 설비가 상을 받게 돼 매우 뜻깊다"며 "향후 반도체 장비 시장에서 설비 성능향상 뿐만 아니라 디자인 측면에서도 우수한 신개념 설비를 계속 선보일 예정"이라고 밝혔다.
IR52 장영실상은 '인더스트리얼 리서치(Industrial Research)의 약자로 1991년부터 매년 우수 산업제품을 선정해 시상하고 있다. 세메스는 국내 반도체·디스플레이 장비업체 최초로 매출 2조원을 돌파했다. 반도체와 디스플레이 전공장 핵심장비 개발을 통해 2025년 글로벌 탑5 진입을 목표로 하고 있다.
[전경운 기자]