LG디스플레이, 초음파 활용 코팅장비 세계 최초 개발

LG디스플레이가 초음파를 활용한 대면적 디스플레이 코팅 장비 ‘초음파 플로팅 코터’를 세계 최초로 개발했다고 8일 밝혔다.
초음파 플로팅 코터는 디스플레이 내 마스크에 패턴을 형성하는 사진식각 과정에 초음파를 적용해 코팅하는 장비다. 기존에 공기를 이용했던 에어 플로팅 코터보다 초박형 기판을 보다 안전하게 부상시킬 수 있으며 구조가 단순해 유지 보수가 용이하다는 장점이 있다.
특히 전량 수입에 의존했던 에어 플로팅 코터를 국산 기술로 대체할 수 있어 비용 절감 효과가 크다는 설명이다. LG디스플레이는 초음파 플로팅 코터를 8세대 제조 공정에 도입할 경우 비용을 37%, 에너지를 77% 절감할 수 있다고 밝혔다.
이번 개발은 LG디스플레이가 지난 2013년 신기술장비공모제도를 통해 협력사인 케이씨텍의 개발 제안을 접수해 시작됐다. 양사는 약 1년 6개월의 연구 개발과 6개월의 공정, 성능 평가 등을 거쳐 양산성을 확보해 최종 개발에 성공했다. 초음파 플로팅 코터의 공정 내 도입은 올 하반기부터 본격화될 예정이다.
[매경닷컴 김용영 기자]