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↑ [사진 제공 = 국일제지] |
12인치 Batch식 제조설비는 다중 챔버(Multiple chamber)를 활용한 그래핀 박막 증착 가능 설비로서 리지드(Rigid)한 평면 그래핀 제조를 목표로 설계된 장치다.
12인치 Batch식 제조설비는 12인치 이하 다양한 사이즈 제작이 가능하며 다중 챔버를 활용한다는 점에서 기존 설비보다 효율성이 높은 것으로 알려졌다.
한편 지난 4월 국일그래핀 성남피엠센터(PM, Pilot Manufacturing)에 입고됐던 대면적 롤투롤(Roll to Roll) 그래핀 양산화 생산설비는 현재 테스트(Test)에 따른 프로그램 수정 및 공정별 시운전 중이다.
회사 관계자는 "12인치 Batch식 그래핀 제조설비를 갖추게 됨으로써 플렉시블 유연전극 제조를 위한 연속식 제조장치
[김경택 기자 kissmaycry@mkinternet.com]
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